VS100

  • Высоковольтный источник питания для электронного пучка
  • Выходное напряжение 100 кВ
  • Низковольтная/высоковольтная секция с выходным током 10 мкA / 100 мкA
  • Пульсации менее 75 мв
  • Превосходная стабильность
  • Безмасляный/с твердотельной изоляцией

Высоковольтные источник питания с электронным лучом

Высоковольтный источник питания марки Bertan серии VS100 был разработан специально для высокоточных электроннолучевых систем, применяемых для полупроводниковой нанолитографии, микрооптики и разработки фотошаблонов. Низкие пульсации и высочайшая стабильность характеристик VS100 делают его идеальным вариантом для упомянутых систем с жесткими требованиями. Диапазон низкого или высокого напряжения выбирается переключателем.

Благодаря полной герметизации высоковольтной секции блок не требует технического обслуживания, при этом все компоненты надежно изолированы от окружающей среды. Устройство полностью защищено от перегрузки, дугового разряда и короткого замыкания. Обеспечивается дистанционное программирование и контроль. Имеется второй контроллер высокого напряжения, не входящий в схему управления. Это позволяет выполнять точные пассивные измерения высокого напряжения на выходе.

Типовые применения:

  • Микрооптика
  • Полупроводниковая литография
  • Разработка фотошаблонов

CE Marking

Технические характеристики

(Ref. 128045-001 REV. F)

Input Voltage:

220Vac, ±10%, single phase 50/60 Hertz

Output Voltage:

0 to 100kV, negative polarity. Externally switch selectable to 105kV, ±500 volts

Output Current:

0-10µA, low range

0-100µA, high range

Switch selectable

Line Regulation:

±0.001% of rated voltage over specified input voltage range

Load Regulation:

≤20V for a current change of 25μA to 60μA and 60μA to 25μA

Ripple:

≤75mV peak to peak

Partial High Voltage Discharge:

less than 200mV

Stability:

0.001% per 8 hours after a 6 hour warm up, for a temperature of 20°C ±0.2°C

Temperature Coefficient:

50ppm per degree C over a 10°C to 40°C range

Environmental:

Operating Temperature: 0 to 40 degrees C

Storage Temperature: -40 to 85 degrees C

Humidity: 10 to 90% RH, non condensing

Cooling:

Forced Air-control chassis;

Convection Cooled- high voltage chassis

Front Panel:

Power ON/OFF switch

HV ON/OFF switch 

HV ON/OFF indicator

Analog output voltage meter

Dimensions:

Control Chassis: 5.25. H X 19. W X 15.3. D (13.3cm X 48.3cm X 38.4cm)

HV Chassis: 10.25. H X 19. W X 27. D (26.7cm X 48.3cm X 55.9 cm)

Weight:

Control Chassis: 20 pounds (9kg)

HV Chassis: 116 pounds (50kg)

Interface Connector:

19 pin Burndy GOB1619SNE (mating connector provided)

AC Input Connector:

3 pin IEC320 input socket

Output HV Connector:

Claymount 2050-073

Output HV Cable:

Detachable at rear panel, cable not provided.

Regulatory Approvals: 

Compliant to 2004/108/EC, The EMC Directive and 2006/95/EC, The Low Voltage Directive.

REMOTE INTERFACE CONNECTOR

Pin Signal Signal Parameters
A -5V Reference -5.0 volts @ 10mA output
B Voltage Programming 0 to -5v = 0 to 100% rated output, Zin = 100KΩ
C Spare N/C
D Spare N/C
E Monitor Common Ground
F HV Stat TTL High = HV OFF, TTL Low = HV ON
G +5V 5 volts @ 250mA output
H Interlock Ground or TTL low to enable interlock
J Program Common Ground
K Spare N/C
L Spare N/C
M Spare N/C
N Spare N/C
P Voltage Monitor 0 to -5V = 0 to 100% rated output, Zout =10KΩ
R Current Monitor 0 to -5V = 0 to 100% rated output, Zout =10KΩ
S Spare N/C
T Spare N/C
U Spare N/C
V Spare N/C

Таблицы и диаграммы

DIMENSIONS: in.[mm]

FRONT VIEW

Spellman VS100 Высоковольтные источник питания с электронным лучом (Image 2)

TOP VIEW

Spellman VS100 Высоковольтные источник питания с электронным лучом (Image 4)

BACK VIEW

Spellman VS100 Высоковольтные источник питания с электронным лучом (Image 6)

HV CHASSIS

FRONT VIEW

Spellman VS100 Высоковольтные источник питания с электронным лучом (Image 3)

TOP VIEW

Spellman VS100 Высоковольтные источник питания с электронным лучом (Image 5)

BACK VIEW

Spellman VS100 Высоковольтные источник питания с электронным лучом (Image 7)

Note: All specifications are subject to change without notice. Please consult the PDF version of this datasheet for the most up-to-date revision.