FIBX

  • Комплексный модуль для стоечных систем
  • Высокая стабильность, низкий уровень пульсации
  • Изолированная секция ВН
  • Некоронирующией
  • Цифровой интерфейс с оптической развязкой
  • Маркировка CE и соответствие требованиям Semi S2

Высоковольтный источник питания с фокусированным ионным пучком

Высоковольтный источник питания FIBX производства компании Spellman оснащен многоканальным выходом и разработан специально для сфокусированных ионных пучков. Основные области применения: просвечивающая и растровая электронная микроскопия; анализ, механическая обработка и восстановление полупроводников; обработка головки дисковода; травление в ионном луче и ионная литография.

Реализованный в конструкции модульный принцип позволяет производить установку отдельных узлов в стойки под шасси 6U. Для интерфейсов, логических цепей и контуров управления применяется технология поверхностного монтажа, минимизирующая затраты и размеры оборудования. Патентованные технологии преобразования напряжения и разработанная компанией Spellman топология и твердотельная изоляция высоковольтных систем обеспечивают гарантируют надежную и безотказную работу модулей FIB в любых условиях эксплуатации.
Раздельное питание (ускорителя, накала, экстрактора, ограничителя и линзы) обеспечивает идеальное соответствие требованиям конкретной системы с низкими выходными пульсациями и отличными техническими характеристиками по стабилизации, стабильности, температурному коэффициенту, дрейфу и точности. Развязка и управление плавающих источников обеспечивается запатентованным компанией Spellman методом высоковольтной развязки.

Пользовательское управление интегрированной системой питания FIB осуществляется с помощью изолированного волоконно-оптического интерфейса RS-232. Все высоковольтные защитные блокировки конструктивно устойчивы к отказу. Модуль FIBX имеет маркировку CE и соответствует требованиям стандартов IEC, UL и SEMI.

Типовые применения:

  • Просвечивающая растровая электронная микроскопия
  • Растровая электронная микроскопия
  • Анализ полупроводников, механическая обработка и восстановление
  • Травление в ионном луче
  • Литография сфокусированным ионным лучом

Технические характеристики

(Ref. 128029-001 REV. G)

Input Voltage:

105 to 240Vac, 47 to 63 Hz

ACCELERATOR SUPPLY Referenced to Ground

Output Voltage: 0 to +45 kV

Output Current: 30 µA

Ripple: 200 mV p-p, from 0.1 Hz to1 MHz

Line Regulation: 100 mV for +/-10% line change

Load Regulation: ±0.01% of maximum voltage for full load change

Stability: 1.5 volts/10 hours after 2 hour warm-up

Temperature Coefficient: 25 ppm/°C

FILAMENT SUPPLY Referenced to Accelerator

Output Voltage: 0 to 5 Vdc

Output Current: 0 to 5 A

Ripple: 10 mA p-p from 0.1 Hz to 1 MHz

Line Regulation: 5 mA for +/-10% line change

Load Regulation: ±0.1% of maximum voltage for full load change

Stability: 5 mA/10 minutes after 2 hour warm-up

Temperature Coefficient: 200 ppm /°C

SUPPRESSOR SUPPLY Referenced to Accelerator

Output Voltage: -2 kV to +2 kV

Output Current: 30 µA

Ripple: 150 mV p-p from 0.1 Hz to 1 MHz

Line Regulation: 100 mV for +/-10% line change

Load Regulation: ±0.01% of maximum voltage for full load change Stability: 500mV/10 hours after 2 hour warm-up

Temperature Coefficient: 25 ppm/°C

EXTRACTOR SUPPLY Referenced to Accelerator

Output Voltage: 0 to -15 kV

Output Current: 400 µA

Ripple: 100 mV p-p, from 0.1 Hz to 1 MHz at 30 µA and below

Line Regulation: 100 mV for +/-10% line change

Load Regulation: ±0.01% of maximum voltage for full load change Stability: 500mV/10 hours after 2 hour warm-up

Temperature Coefficient: 25 ppm/°C

LENS 1 SUPPLY Referenced to Ground

Output Voltage: 0 to -40 kV

Output Current: 30 µA

Ripple: 150 mV p-p from 0.1 Hz to 1 MHz

Line Regulation: 100 mV for +/-10% line change

Load Regulation: ±0.01% of maximum voltage for full load change

Stability: 500 mV/10 hours after 2 hour warm-up

Temperature Coefficient: 25 ppm/°C

LENS 2 SUPPLY Referenced to Ground

Output Voltage: 0 to +25 kV

Output Current: 30 µA

Ripple: 150 mV p-p from 0.1 Hz to 1 MHz

Line Regulation: 100 mV for +/-10% line change

Load Regulation: ±0.005% of maximum voltage for full load change

Stability: 1.0 volts/10 hours after 2 hour warm-up

Temperature Coefficient: 25 ppm/°C

Remote Interface:

A fiber optic isolated RS232 interface is provide for remote digital control and monitoring of all power supplies and their functions.

Environmental:

Operating temperature: 10°C to 40°C

Storage temperature: -30°C to 70°C

Humidity: 10% to 90%, non-condensing

Connectors:

Accelerator, Filament and Suppressor: 75kV, 3 conductor Federal Standard Xray connector

Extractor: LGH 2I

Lens 1: LGH 3I

Lens 2: LGH 21

Input Voltage:

IEC320 EMI filtered input connector

Dimensions:

Industry standard 6U rack mounted chassis

10.5. High X 19. Wide X 21. Deep

26.7 cm X 48.3 cm X 53.34 cm

Weight:

Approximately 73 lbs (33 kg)

Regulatory Approvals:

Compliant to 2004/108/EC, The EMC Directive and 2006/95/EC, The Low Voltage Directive and designed to meet SEMI S2.

Note: All specifications are subject to change without notice. Please consult the PDF version of this datasheet for the most up-to-date revision.