반도체

오늘날의 복잡한 반도체 제조 공정에는 극도로 까다로운 사양이 요구되는 다양한 고전압 전력 솔루션이 필요합니다. Spellman 제품은 본질적으로 웨이퍼 시작부터 끝까지 팹 전체에서 사용됩니다. 리소그래피 – 광원 전원을 시작으로 장치 검사 및 테스트에 이르기까지 몇 와트에서 10kW까지의 범위를 다루기 때문에 정확하고 저소음의 고도로 안정적인 전원 공급 장치가 실제로 실현 가능한 기술입니다. 우리가 제공하는 솔루션에 대한 자세한 내용을 보시려면 아래 응용 분야를 선택하십시오. 표준 제품이 귀사의 요구사항을 충족시키지 못할 경우, OEM어플리케이션을 위한 맞춤형 디자인을 제공할 수 있습니다.


Chemical Vapor Desposition

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E-Beam Evaporation

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E-Beam/I-Beam Lithography

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E-Chuck

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Flat Panel

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Ion Implantation

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Plasma Ignition

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Sputtering

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Thin Films

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