EBM20

  • 電子ビームカラム用の三極管供給
  • 高精度、低ノイズ、高安定性
  • 過電流/過電圧保護
  • アークおよび短絡保護
  • OEMのカスタマイズ可能
  • UL適合設計、CEおよびRoHS準拠

*注:すべての仕様は予告なく変更される場合があります。 最新のリビジョンについては、このデータシートの 英語版PDF  を参照してください。

2 Year Extended Warranty CE, ROHS, UL Marking

SEMアプリケーション用のOEMモジュール

EBM20は、熱電子走査電子顕微鏡のEビームカラムに電力を供給し、単一のコンパクトなパッケージで加速電源、バイアス電源、フィラメント電源を提供します。スペルマン独自の高圧パッケージングおよび封止化技術により、他のSEM電源製品と比較して、サイズ、コスト、パフォーマンスが劇的に向上します。EBM20は、200uAで0〜-20kVにプログラム可能な、高度に調整された低ノイズの高安定性アクセラレータ電源です。EBM20には、フローティングバイアス電源と、加速器を基準としたフィラメント電源があります。プログラミング信号は、差動アナログ入力を利用して、外部ノイズとオフセット電圧の影響を最小限に抑えます。接地基準の加速器電流モニターが提供されます。EBM20は、過電圧および過電流保護とともに、アークおよび短絡に耐性があります。

代表的なアプリケーション:

  • 走査型電子顕微鏡

Specifications

(Ref. 128031-001 REV. A)

Input Voltage:

+24Vdc, ±5%, 1.5A maximum

High Voltage Outputs:

ACCELERATOR:

Voltage:

0V to -20kV full load with respect to ground

Current:

200μA maximum, continuous from -500V to -20kV

Accuracy:

±1% from -500V to -20kV

Load Regulation:

<±100ppm, 20μA to 200μA load change

Line Regulation:

<±100ppm for 10% line change

Ripple:

<30ppm p-p at -20kV, 200μA, maximum bias and filament output

Temperature Coefficient:

<100ppm/°C

Stability:

30ppm/3 minutes at 100μA load current after 1 hour warm up

BIAS:

(Referenced to Accelerator)

Voltage:

0 to +1.5kV (max allowable output limited to 2kV)

Current:

150µA maximum

Accuracy:

±3% of full scale

Line Regulation:

<±0.1% for 10% line change

Ripple:

<0.1% p-p

Temperature Coefficient:

<1000ppm/°C

Stability:

1%/10 minutes

FILAMENT:

(Referenced to Accelerator)

Power:

0 to 12W

Load Resistance:

1Ω ±5%

Accuracy:

±3% of FS

Load Regulation:

<1% for 10% change in load resistance

Line Regulation:

<1% for 10% line change

Ripple:

<0.1% p-p max

Temperature Coefficient:

<300ppm/°C

Stability:

100ppm/10 minutes

INTERFACE:

Input:

Analog control for accelerator, filament and bias

Output:

Custom 3 pin receptacle and cable assembly

Temperature:

Operating: 5°C to +40°C

Storage: -20°C to +50°C

Humidity:

20% to 85% RH, non-condensing

Dimensions:

10.63˝H x 2.36˝W x 7.87˝D (270mm x 60mm x 200mm) excluding any mounting brackets

Weight:

<10 lbs. (4.5kg)

Regulatory Approvals:

The unit is CE marked against EN61010:2010 safety requirements for electrical equipment for measurement, control and laboratory use and is RoHS compliant.

The unit is designed to meet: UL61010-1:2012 safety requirements for electrical equipment for measurement, control, and laboratory use - Part 1: general requirements and CAN/CSA-C22.2 No.61010-1-12:2015.

POWER INPUT CONNECTOR 3 PIN JST MODEL B 3PS-VH

Pin Signal Parameters
1 +24V High Voltage Power Input +24Vdc Input
2 0V Input +24Vdc Common
3 FG Chassis Ground
 

CONTROL AND MONITORING CONNECTOR 10PIN JST MODEL S10B-EH

Pin Signal Parameters
1 FIL PROG (+) Filament Program (+) Input
2 FIL PROG (-) Filament Program (-) Input
3 BIAS (+) Bias (+) Input
4 BIAS (-) Bias (-) Input
5 ACC PROG (+) Acc Voltage Program (+) Input
6 ACC PROG (-) Acc Voltage Program (-) Input
7 EMS Emission Current Monitor Output
8 EMS GND Emission Current Monitor Gnd (0V)
9 ACC MON ACC Voltage Monitor Output
10  ACC MON GND  ACC Voltage Monitor GND (0V) 

 

How to order:
Standard: PART NO.:EBM20N4/24
HV Cable: PART NO.:HVC30/3IS/LL1650 (1.65m Cable)

Tables & Diagrams

HV CABLE ASSEMBLY DETAILS

EBM20 Series

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DIMENSIONS: in.[mm]

SIDE VIEW

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