半導体

今日の複雑な半導体製造プロセスでは、非常に要求の厳しい仕様を備えたさまざまな高電圧電力ソリューションが必要です。スペルマンの製品は、本質的にウエハー工程の始まりから終わりまで、製造全体で使用されています。リソグラフィを始めとして、検査やテスト用のデバイス、そして数ワットから10キロワットの範囲をカバーするなど、スペルマンの精密で低騒音で、非常に安定した高圧電源はとても有効な技術です。標準製品がお客様の要件に完璧にフィットしない場合、スペルマンはカスタマイズされた製品を提供いたします。


Chemical Vapor Desposition

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E-Beam Evaporation

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E-Beam/I-Beam Lithography

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E-Chuck

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Flat Panel

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Ion Implantation

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Plasma Ignition

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Sputtering

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Thin Films

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