FIBX

  • 各種電源を1つの筐体の中に統合
  • 高い安定度と低リップル
  • モールドされた高圧発生セクション
  • Optically Isolated Digital Interface
  • コロナ放電のないオペレーション
  • 光により絶縁されたデジタル・インターフェース
  • CEマーキング、ULおよびSEMI S2準拠

集束イオンビーム高圧電源

スペルマンFIBX電源は、集束イオン・ビーム用に特化して開 発された、複数の出力を統合化した電源です。主なアプリケーショ ンは、透過型および走査型の電子顕微鏡、半導体検査/加工装置、 ディスク・ドライバ・ヘッド・トリミング、イオン・ビーム・ エッチング、そして集束イオン・ビーム・リソグラフィです。

モジュラー方式を用いたデザインのため、6Uのシャーシの中 に個々のサブアセンブリを組み込むことで容易にコンフィギュ レーションさせることができます。インターフェースとロジック 制御回路は、表面実装技術を用いており、コストとサイズを最小 限に抑えています。スペルマンが特許を持つパワー変換技術と独 自の高圧部ポッティング技術により、FIBの動作環境に対し信頼 性の高い電源を供給します。

個々の電源(アクセラレータ、フィラメント、エキストラクタ、 サプレッサ、そしてレンズ)は、厳しいアプリケーションにおける、 低リップル、優れた変動率、安定度、温度係数、ドリフト、精度 といった仕様を満たすように設計されています。個々のフロー ティングされた電源の絶縁と制御は、スペルマン独自の卓越した 技術により構築されています。
この統合化されたFIB向け電源のコントロールは、光ファイ バーにより絶縁されたRS232インターフェースを介して行われ ます。全ての高圧に対して安全上のインターロックが、ハードウェ ア的にフェール・セーフとなるように設計されています。FIBX は、CEマーキングを有し、IEC、UL、そしてSEMI規格に適合 するように設計されています。

用途

  • 透過走査型電子顕微鏡
  • 走査型電子顕微鏡
  • 半導体検査/加工装置
  • イオン・ビーム・エッチング
  • 集束イオン・ビーム・リソグラフィ

Specifications

(Ref. 128029-001 REV. G)

Input Voltage:

105 to 240Vac, 47 to 63 Hz

ACCELERATOR SUPPLY Referenced to Ground

Output Voltage: 0 to +45 kV

Output Current: 30 µA

Ripple: 200 mV p-p, from 0.1 Hz to1 MHz

Line Regulation: 100 mV for +/-10% line change

Load Regulation: ±0.01% of maximum voltage for full load change

Stability: 1.5 volts/10 hours after 2 hour warm-up

Temperature Coefficient: 25 ppm/°C

FILAMENT SUPPLY Referenced to Accelerator

Output Voltage: 0 to 5 Vdc

Output Current: 0 to 5 A

Ripple: 10 mA p-p from 0.1 Hz to 1 MHz

Line Regulation: 5 mA for +/-10% line change

Load Regulation: ±0.1% of maximum voltage for full load change

Stability: 5 mA/10 minutes after 2 hour warm-up

Temperature Coefficient: 200 ppm /°C

SUPPRESSOR SUPPLY Referenced to Accelerator

Output Voltage: -2 kV to +2 kV

Output Current: 30 µA

Ripple: 150 mV p-p from 0.1 Hz to 1 MHz

Line Regulation: 100 mV for +/-10% line change

Load Regulation: ±0.01% of maximum voltage for full load change Stability: 500mV/10 hours after 2 hour warm-up

Temperature Coefficient: 25 ppm/°C

EXTRACTOR SUPPLY Referenced to Accelerator

Output Voltage: 0 to -15 kV

Output Current: 400 µA

Ripple: 100 mV p-p, from 0.1 Hz to 1 MHz at 30 µA and below

Line Regulation: 100 mV for +/-10% line change

Load Regulation: ±0.01% of maximum voltage for full load change Stability: 500mV/10 hours after 2 hour warm-up

Temperature Coefficient: 25 ppm/°C

LENS 1 SUPPLY Referenced to Ground

Output Voltage: 0 to -40 kV

Output Current: 30 µA

Ripple: 150 mV p-p from 0.1 Hz to 1 MHz

Line Regulation: 100 mV for +/-10% line change

Load Regulation: ±0.01% of maximum voltage for full load change

Stability: 500 mV/10 hours after 2 hour warm-up

Temperature Coefficient: 25 ppm/°C

LENS 2 SUPPLY Referenced to Ground

Output Voltage: 0 to +25 kV

Output Current: 30 µA

Ripple: 150 mV p-p from 0.1 Hz to 1 MHz

Line Regulation: 100 mV for +/-10% line change

Load Regulation: ±0.005% of maximum voltage for full load change

Stability: 1.0 volts/10 hours after 2 hour warm-up

Temperature Coefficient: 25 ppm/°C

Remote Interface:

A fiber optic isolated RS232 interface is provide for remote digital control and monitoring of all power supplies and their functions.

Environmental:

Operating temperature: 10°C to 40°C

Storage temperature: -30°C to 70°C

Humidity: 10% to 90%, non-condensing

Connectors:

Accelerator, Filament and Suppressor: 75kV, 3 conductor Federal Standard Xray connector

Extractor: LGH 2I

Lens 1: LGH 3I

Lens 2: LGH 21

Input Voltage:

IEC320 EMI filtered input connector

Dimensions:

Industry standard 6U rack mounted chassis

10.5. High X 19. Wide X 21. Deep

26.7 cm X 48.3 cm X 53.34 cm

Weight:

Approximately 73 lbs (33 kg)

Regulatory Approvals:

Compliant to 2004/108/EC, The EMC Directive and 2006/95/EC, The Low Voltage Directive and designed to meet SEMI S2.

Note: All specifications are subject to change without notice. Please consult the PDF version of this datasheet for the most up-to-date revision.