EBM

  • 電子ビーム・コラムに対応した3極電源
  • 高精度、低ノイズ、高安定度
  • 過電流、過電圧保護n
  • アークおよび短絡保護回路
  • OEM特注可能
  • UL, CE承認、RoHS対応

三極管電子ビーム 高圧電源

 スペルマンEBM高圧電源は、走査型電子顕微鏡(SEM)の電子 ビーム駆動用に設計されています。アクセラレータ、バイアス、 フィラメントの各電源を1つの筐体の中にコンパクトに纏めた OEM製品です。スペルマン独自の高圧部パッケージングとポッ ティング技術により、他のSEMアプリケーション向けの電源と 比較して、サイズ、コスト、性能の面で格段に改善されています。  EBM電源は、低ノイズで精度の高い非常に安定したアクセラ レータ出力を供給します。アクセラレータ出力は170μAの最大 電流で0〜30kVまでで調整することができます。またアクセラ レータの出力にフローティングされている調整可能なバイアス出 力とフィラメント出力を備えております。全てのプログラミング 信号は、ノイズとオフセット電圧の影響を最小限にするため差分 入力を用いています。グランドを参照したアクセラレータの電流 モニターも備わっています。EBMは過電圧/過電流の保護と共 にアークと短絡に対しても対策が講じられています。

用途

  • 走査型電子顕微鏡

CE ROHS RU Marking

Specifications

(Ref. 128031-001 REV. J)

Input Voltage:

+24Vdc, ±5%

High Voltage Outputs:

ACCELERATOR:

Voltage:

0V to -30kV full load with respect to ground

Current:

170µA maximum, continuous from -300V t0 -3kV

Accuracy:

±2% or ±15V (whichever is greater)

Load Regulation:

<±100ppm

Line Regulation:

<±100ppm for 22.8V to 26.4V line change

Ripple:

<15ppm p-p at -30kV, 170µA, maximum bias and filament output

Temperature Coefficient:

<100ppm/°C

Stability:

8ppm/3 minutes at 150µA load current after 1 hour warm up

BIAS:

(Referenced to Accelerator)

Voltage:

0 to +3.5kV (max allowable output limited to 2kV)

Current:

150µA maximum

Accuracy:

±5% of full scale

Line Regulation:

<±0.1% for 10% line change

Ripple:

<150mVp-p at 30kV, 150µA, max. bias and filament output

Temperature Coefficient:

<1000ppm/°C

Stability:

6V/10 minutes

FILAMENT:

(Referenced to Accelerator)

Power:

0 to 15W

Load Resistance:

1 ±5%

Accuracy:

±3% of FS or 0.1V, which ever is greater

Load Regulation:

<2% for 10% change in load resistance

Line Regulation:

<1% for 10% line change

Ripple:

<0.1% p-p max

Temperature Coefficient:

<300ppm/°C

Stability:

100ppm/10 minutes

INTERFACE:

Input:

Analog control for beam energy, filament and bias

Output:

Mini75 receptacle (Claymount CA11 or similar)

Temperature:

Operating: 0°C to +45°C

Storage: -20°C to +75°C

Humidity:

0 to 85% RH, non-condensing

Dimensions:

4.13.H x 9.85.W x 7.48.D (105mm x 250mm x 190mm) excluding any mounting brackets

Weight:

<22 lbs. (10kg)

Regulatory Approvals:

Compliant to 2004/108/EC, the EMC Directive and 2006/95/EC, the Low Voltage Directive. UL/CUL recog­nized, File E227588. Compliant to 2002/95/EC, RoHS. RoHS compliant.

Tables & Diagrams

DIMENSIONS: in.[mm]

FRONT VIEW

EBM 三極管電子ビーム 高圧電源 (Image 1)

TOP VIEW

EBM 三極管電子ビーム 高圧電源 (Image 2)

SIDE VIEW

EBM 三極管電子ビーム 高圧電源 (Image 3)

Note: All specifications are subject to change without notice. Please consult the PDF version of this datasheet for the most up-to-date revision.