SERIE VS100

  • Fuente de alimentación de alto voltaje para haz de electrones de 100 kV
  • Selección de corriente de salida baja/alta de 10 μA/100 μA
  • Menos de 75 mV de rizo
  • Excelente regulación y estabilidad de funcionamiento
  • Diseño encapsulado sólido/libre de aceite

FUENTE DE ALIMENTACIÓN DE ALTO VOLTAJE PARA HAZ DE ELECTRONES

La fuente de alimentación de alto voltaje Bertan VS100 fue diseñada específicamente para aplicaciones de precisión de haz de electrones tales como nanolitografía de semiconductores, óptica microscópica y desarrollo de máscaras. Sus especificaciones de rizo ultra bajo y excelente estabilidad la hacen ideal para utilizarse en estas demandantes aplicaciones. Cuenta con la función de selección de rango de salida de corriente alto y bajo mediante interruptor.

La sección de alto voltaje con encapsulado sólido elimina cualquier problema de mantenimiento para el usuario, a la vez que aísla los componentes de las variables ambientales. La unidad está completamente protegida contra sobrecargas, arcos y cortocircuito. Cuenta con función de programación y monitoreo a control remoto. Se suministra con un segundo monitor de alto voltaje, separado de la electrónica de control. Esto permite una medición pasiva precisa de la salida de alto voltaje.

Aplicaciones típicas:

  • Óptica microscópica
  • Litografía de semiconductores
  • Trabajo de desarrollo de máscaras

CE Marking

Especificaciones

(Ref. 128045-001 REV. F)

Input Voltage:

220Vac, ±10%, single phase 50/60 Hertz

Output Voltage:

0 to 100kV, negative polarity. Externally switch selectable to 105kV, ±500 volts

Output Current:

0-10µA, low range

0-100µA, high range

Switch selectable

Line Regulation:

±0.001% of rated voltage over specified input voltage range

Load Regulation:

≤20V for a current change of 25μA to 60μA and 60μA to 25μA

Ripple:

≤75mV peak to peak

Partial High Voltage Discharge:

less than 200mV

Stability:

0.001% per 8 hours after a 6 hour warm up, for a temperature of 20°C ±0.2°C

Temperature Coefficient:

50ppm per degree C over a 10°C to 40°C range

Environmental:

Operating Temperature: 0 to 40 degrees C

Storage Temperature: -40 to 85 degrees C

Humidity: 10 to 90% RH, non condensing

Cooling:

Forced Air-control chassis;

Convection Cooled- high voltage chassis

Front Panel:

Power ON/OFF switch

HV ON/OFF switch 

HV ON/OFF indicator

Analog output voltage meter

Dimensions:

Control Chassis: 5.25. H X 19. W X 15.3. D (13.3cm X 48.3cm X 38.4cm)

HV Chassis: 10.25. H X 19. W X 27. D (26.7cm X 48.3cm X 55.9 cm)

Weight:

Control Chassis: 20 pounds (9kg)

HV Chassis: 116 pounds (50kg)

Interface Connector:

19 pin Burndy GOB1619SNE (mating connector provided)

AC Input Connector:

3 pin IEC320 input socket

Output HV Connector:

Claymount 2050-073

Output HV Cable:

Detachable at rear panel, cable not provided.

Regulatory Approvals: 

Compliant to 2004/108/EC, The EMC Directive and 2006/95/EC, The Low Voltage Directive.

REMOTE INTERFACE CONNECTOR

Pin Signal Signal Parameters
A -5V Reference -5.0 volts @ 10mA output
B Voltage Programming 0 to -5v = 0 to 100% rated output, Zin = 100KΩ
C Spare N/C
D Spare N/C
E Monitor Common Ground
F HV Stat TTL High = HV OFF, TTL Low = HV ON
G +5V 5 volts @ 250mA output
H Interlock Ground or TTL low to enable interlock
J Program Common Ground
K Spare N/C
L Spare N/C
M Spare N/C
N Spare N/C
P Voltage Monitor 0 to -5V = 0 to 100% rated output, Zout =10KΩ
R Current Monitor 0 to -5V = 0 to 100% rated output, Zout =10KΩ
S Spare N/C
T Spare N/C
U Spare N/C
V Spare N/C

Tablas y Diagramas

DIMENSIONS: in.[mm]

FRONT VIEW

VS100 High Voltage Power Supply (Image 2)

TOP VIEW

VS100 High Voltage Power Supply (Image 4)

BACK VIEW

VS100 High Voltage Power Supply (Image 6)

HV CHASSIS

FRONT VIEW

VS100 High Voltage Power Supply (Image 3)

TOP VIEW

VS100 High Voltage Power Supply (Image 5)

BACK VIEW

VS100 High Voltage Power Supply (Image 7)