SERIE FIBX

  • Solución de monochasis integrado
  • Alta estabilidad y rizo muy bajo
  • Operación libre de efecto corona con sección de alto voltaje encapsulada
  • Interfaz digital aislada ópticamente

FUENTE DE ALIMENTACIÓN DE ALTO VOLTAJE PARA RAYO DE IONES FOCALIZADO DE SALIDAS MÚLTIPLES

La fuente de alimentación de la serie FIBX de Spellman es una fuente integral de alimentación de alto voltaje diseñada para rayos de iones focalizados de salidas múltiples. Las aplicaciones típicas incluyen la microscopía electrónica de barrido y de transmisión, análisis, decapado y reparación de semiconductores, corte de disco de accionamiento, grabado por haz de iones y litografía por rayo de iones.

Una solución de diseño modular que permite configurar subensambles fácilmente en un conjunto de chasis común de 6U de montaje en bastidor. La interfaz y el circuito lógico y de control utilizan tecnología de montaje superficial, minimizando el costo y tamaño. El liderazgo de Spellman en la tecnología de conversión de energía patentada y las técnicas de encapsulamiento y empaquetado para alto voltaje propias proporcionan una operación confiable y libre de fallas en todos los ambientes de funcionamiento de la serie FIB.

Las fuentes discretas (de acelerador, filamento, extractor, supresor o lentes) están diseñadas para estándares específicos de aplicaciones exigentes, con un rizo ultra bajo, excelente regulación, estabilidad, coeficiente de temperatura, especificaciones de deriva y precisión. El aislamiento y control de las respectivas fuentes de flotación son provistos mediante las técnicas de aislamiento de alto voltaje propias de Spellman.
El control por parte del cliente de este sistema de fuente de alimentación de de la serie FIB integral se logra mediante fibra óptica a una interfaz RS-232 aislada. Todos los interbloqueos de seguridad para alto voltaje tienen un diseño basado en hardware a prueba de fallos. El FIBX cuenta con marca CE y está diseñado para cumplir con los estándares IEC, UL y SEMI aplicables.

Aplicaciones típicas:

  • Microscopia electrónica de barrido por transmisión
  • Microscopía electrónica de barrido
  • Análisis, decapado y reparación de semiconductores
  • Grabado mediante rayo de iones
  • Litografía por rayo de iones focalizado

Especificaciones

(Ref. 128029-001 REV. J)

Input Voltage:

105 to 240Vac, 47 to 63 Hz

ACCELERATOR SUPPLY Referenced to Ground

Output Voltage: 0 to +45 kV

Output Current: 30 µA

Ripple: 200 mV p-p, from 0.1 Hz to1 MHz

Line Regulation: 100 mV for +/-10% line change

Load Regulation: ±0.01% of maximum voltage for full load change

Stability: 1.5 volts/10 hours after 2 hour warm-up

Temperature Coefficient: 25 ppm/°C

FILAMENT SUPPLY Referenced to Accelerator

Output Voltage: 0 to 5 Vdc

Output Current: 0 to 5 A

Ripple: 10 mA p-p from 0.1 Hz to 1 MHz

Line Regulation: 5 mA for +/-10% line change

Load Regulation: ±0.1% of maximum voltage for full load change

Stability: 5 mA/10 minutes after 2 hour warm-up

Temperature Coefficient: 200 ppm /°C

SUPPRESSOR SUPPLY Referenced to Accelerator

Output Voltage: -2 kV to +2 kV

Output Current: 30 µA

Ripple: 150 mV p-p from 0.1 Hz to 1 MHz

Line Regulation: 100 mV for +/-10% line change

Load Regulation: ±0.01% of maximum voltage for full load change Stability: 500mV/10 hours after 2 hour warm-up

Temperature Coefficient: 25 ppm/°C

EXTRACTOR SUPPLY Referenced to Accelerator

Output Voltage: 0 to -15 kV

Output Current: 400 µA

Ripple: 100 mV p-p, from 0.1 Hz to 1 MHz at 30 µA and below

Line Regulation: 100 mV for +/-10% line change

Load Regulation: ±0.01% of maximum voltage for full load change Stability: 500mV/10 hours after 2 hour warm-up

Temperature Coefficient: 25 ppm/°C

LENS 1 SUPPLY Referenced to Ground

Output Voltage: 0 to -40 kV

Output Current: 30 µA

Ripple: 150 mV p-p from 0.1 Hz to 1 MHz

Line Regulation: 100 mV for +/-10% line change

Load Regulation: ±0.01% of maximum voltage for full load change

Stability: 500 mV/10 hours after 2 hour warm-up

Temperature Coefficient: 25 ppm/°C

LENS 2 SUPPLY Referenced to Ground

Output Voltage: 0 to +25 kV

Output Current: 30 µA

Ripple: 150 mV p-p from 0.1 Hz to 1 MHz

Line Regulation: 100 mV for +/-10% line change

Load Regulation: ±0.005% of maximum voltage for full load change

Stability: 1.0 volts/10 hours after 2 hour warm-up

Temperature Coefficient: 25 ppm/°C

Remote Interface:

A fiber optic isolated RS232 interface is provide for remote digital control and monitoring of all power supplies and their functions.

Environmental:

Operating temperature: 10°C to 40°C

Storage temperature: -30°C to 70°C

Humidity: 10% to 90%, non-condensing

Connectors:

Accelerator, Filament and Suppressor: 75kV, 3 conductor Federal Standard Xray connector

Extractor: LGH 2I

Lens 1: LGH 3I

Lens 2: LGH 21

Input Voltage:

IEC320 EMI filtered input connector

Dimensions:

Industry standard 6U rack mounted chassis

10.5. High X 19. Wide X 21. Deep

26.7 cm X 48.3 cm X 53.34 cm

Weight:

Approximately 73 lbs (33 kg)

Regulatory Approvals:

Compliant to EEC EMC Directive. Compliant to EEC Low Voltage Directive. Designed to meet SEMI S2. UL/CUL recognized file E227588 (FIBX3434, FIBX3548, FIB35/655, MFIBX3193)