半导体

今天的复杂的半导体制造工艺需要各种各样的高压电源解决方案,大多数需要极其苛刻的规格。斯派曼的产品是从本质上晶片的旅程的开始至结束被到处使用在晶圆厂。开始随着光刻 - 驱动光源 – 至检验和测试设备,并且覆盖范围从几瓦到10千瓦,我们精确的、低噪音、高稳定的电源的确是一个使能技术。在下面选择一个应用程序区域,了解更多关于我们提供的解决方案。一个标准的产品可能不能满足您的确切需求,我们可以提供定制设计用于OEM应用。


Chemical Vapor Desposition

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E-Beam Evaporation

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E-Beam/I-Beam Lithography

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E-Chuck

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Flat Panel

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Ion Implantation

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Plasma Ignition

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Sputtering

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Thin Films

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